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弥费科技 8寸与12寸晶圆厂AMHS系统成功验收,以新材料技术引领国产替代新纪元

弥费科技 8寸与12寸晶圆厂AMHS系统成功验收,以新材料技术引领国产替代新纪元

国内半导体自动化物料搬运系统领域迎来里程碑式突破——弥费科技自主研发的8英寸与12英寸晶圆厂自动物料搬运系统成功通过客户验收并正式投入使用。这一成就不仅标志着国产AMHS系统在先进制程晶圆厂实现了从“可用”到“好用”的关键跨越,更一举打破了该领域长期被海外巨头垄断的局面,为中国半导体产业链的自主可控与安全稳定注入了强劲动力。

AMHS系统被誉为晶圆厂的“动脉血管”,是连接光刻、刻蚀、薄膜沉积等数百道工艺环节的智能物流神经网络,其稳定性、精度与效率直接关系到整个芯片制造流程的产能、良率与成本。长期以来,该核心技术及市场几乎被少数几家国际企业所主导,成为我国半导体产业迈向高端化的“卡脖子”环节之一。弥费科技此次验收成功,意味着国产AMHS系统已具备服务全球主流晶圆尺寸产线的能力,能够满足先进制造对洁净环境、高精度调度、7x24小时不间断运行以及大数据智能优化的严苛要求。

尤为值得关注的是,弥费科技在攻克系统集成与控制软件等核心难题的创新性地将新材料技术推广服务深度融合于AMHS的研发与解决方案中。公司在关键零部件如承载晶圆的FOUP、传输轨道、空中走行机构等方面,应用了自主研发的高强度、低磨损、抗静电且超高洁净度的复合材料与特种涂层。这些新材料不仅大幅提升了设备的耐用性与可靠性,降低了颗粒污染风险,还有效优化了系统的能耗与维护成本,为AMHS的长期高效运行提供了坚实的物质基础。这一“材料+系统”双轮驱动的技术路径,形成了弥费科技独特的技术壁垒与竞争优势。

此次成功验收,是弥费科技深耕半导体自动化领域多年技术积累的集中体现。从核心算法、机械设计到新材料应用,公司构建了完整的自主知识产权体系。系统的成功投用,预计将为客户晶圆厂带来显著的效益提升:物料传输效率提高,在制品库存降低,生产周期缩短,并为人机协同与全厂智能制造升级奠定了坚实基础。

随着全球半导体产业链格局深度调整以及国内新建晶圆产能的持续释放,对高性能、低成本、服务响应当地化的AMHS需求将愈发迫切。弥费科技的突破,恰逢其时,为国内芯片制造企业提供了可信赖的国产化选择。它不仅是一个产品的胜利,更代表了一种模式的成功——通过底层技术创新与跨学科融合,在高端装备领域实现从追随到并跑乃至引领的跨越。

弥费科技8/12英寸AMHS系统的验收成功,是中国半导体装备自主化征程上的一个响亮号角。它昭示着,在产业各界的共同努力下,通过持续的技术攻坚与生态构建,中国有能力也有信心在更多关键环节实现突破,筑牢半导体产业发展的基石,最终推动全球半导体产业格局向着更加多元、均衡、健康的方向演进。


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更新时间:2026-01-13 15:08:00